박막 증착 부품 및 소재 전문기업 지오엘리먼트(대표이사 신현국)가 10월 코스닥에 입성한다. 반도체 8대공정 중 하나인 박막 증착 및 금속배전 공정에 핵심부품 및 소재를 공급하는 업체로, 회사가 공급하는 ALD(원자층 증착) 공정용 캐니스터와 초음파 레벨센서는 국내 전자소자 양산시장의 표준부품으로 사용되고 있다. 아울러 수십 년간 글로벌 4개사가 과점해 온 PVD(물리적 증착) 공정의 핵심 소재인 스퍼터링 타겟을 국내에서 처음으로 국산화 해 독보적 기술력을 자랑하고 있다.

지오엘리먼트는 최근 금융위에 코스닥 상장을 위한 증권신고서를 제출했다. 증권신고서에 다음달 6일 효력이 발생되면 본격적인 공모절차에 돌입할 예정이다. 6~7일 수요예측을 통해 공모가를 확정하고 12~13일 청약을 받는다. 상장 주관사는 NH투자증권이 맡고 있다. 총 공모주식 수는 154만7000주로 전량 신주모집이다. 공모예정가는 7,600~8,700원으로 이에 따른공모금액은 118억~135억원이다.

2005년 설립된 지오엘리먼트는 반도체 박막 증착 및 금속배전 공정 중 ALD(원자층 증착)와 PVD(물리적 증착) 공정에 핵심 부품 및 소재를 공급하는 기업이다.

박막 증착은 분자 또는 원자 단위의 물질을 1 마이크로미터 이하의 얇은 막으로 입혀 원하는 전기적 특성을 가지게 하는 공정이다. ALD는 원자층의 매우 얇은 박막을 연속 증착해 균일한 두께의 박막을 형성하는 최신 기법인데, 반도체 미세화와 복잡해지는 기술적 요구사항을 반영하기 위해 기존의 CVD(화학적 증착) 공법을 급속하게 대체하고 있다. 이에 따라 성장잠재력이 크다는 평가다. PVD는 금속을 스퍼터링과 같은 방법으로 기화시켜 원하는 기판에 박막 증착하는 기법이다.

지오엘리먼트의 사업부문은 크게 ALD 공정의 전구체 기화이송 기술 사업부문과 PVD 공정의 스퍼터링 타겟 사업부문으로 구분된다. 현재 매출비중은 전구체 기화이송 기술 사업부문이 압도적으로 높다.

전구체 기화이송 기술의 주요제품은 캐니스터와 초음파 레벨센서다. 캐니스터는 ALD 장비의 박막 증착 과정에서 필요한 전구체를 보관하는 용기다. ALD 공정용 전구체는 매우 위험한 화약약품 소재로 분류된다. 때문에 양산공정의 안전을 확보하기 위해 초고순도 상태로 보관해야 한다. 공정 중에는 기화 과정을 통해 기체로 변형돼야 하는데, 기화속도는 전구체 온도 변화에 매우 민감하게 반응하는만큼 캐니스터도 매우 정밀한 온도관리가 필요하다. 지오엘리멘트는 글로벌 유일의 전구체별 기화효율(MER) 기술을 기반으로 모든 공정에 최적화된 맞춤형 캐니스터를 공급할 수 있는 역량을 갖추고 있다. 이에 따라 독보적 진입장벽을 형성했다는 평가다.

회사관계자는 더스탁에 ”우리 회사는 글로벌 경쟁사와 비교해도 유일하게 전구체 기화이송 기술을 기반으로 캐니스터, 초음파 레벨센서, 열관리 시스템 등을 최적화하고 가장 안정된 형태로 액체 및 고체 전구체를 기화 공급할 수 있는 시스템을 설계하고 제작할 수 있는 경쟁력을 확보하고 있다”고 설명했다.

지오엘리먼트는 캐니스터 내부의 액위를 측정하는 초음파 레벨센서도 공급하고 있는데, 오작동 사례를 현저히 낮출 수 있는 연속식 초음파 레벨센서 기술을 세계 최초로 반도체 양산 공정에 공급했다.

이 같은 선도 기술을 기반으로 회사의 전구체용 캐니스터와 초음파 레벨센서는 국내 시장의 표준 제품으로 자리잡았다. 국내시장의 경우 특별한 경쟁사가 없는 상태로 시장점유율이 95%에 달한다.

PVD 공정의 핵심 소재인 스퍼터링 타겟은 글로벌시장에서 일본, 미국 소재업체 4곳이 과점시장을 형성해 온 분야다. 제조공정이 복잡하고 특수해 국산화에 어려움을 겪었는데, 지오엘리먼트가 300mm(12인치) 반도체용 스퍼터링 타겟을 개발해 국내 최초로 제품을 국산화했다. 스퍼터링 타겟은 비교적 신규 진입자인 상황이다. 회사 측은 기존제품 대비 경쟁력이 뒤쳐지지 않는다는 판단아래 스퍼터링 타겟 부문이 매출성장에 기여할 것으로 기대하고 있다.

실적도 고성장하고 있다. 지난해에는 매출액 132억원에 영업이익 29억원으로 각각 전년대비 38%, 124% 증가했다. 올해 상반기 성적표도 우수하다. 매출액 116억원과 영업이익 39억원을 기록하면서 고속 성장세를 이어가고 있다.

지오엘리먼트는 반도체 부품에서 모듈, 소재까지 사업영역을 확장해 나갈 계획이다. 구체적으로는△스퍼터링 타겟 양산 공급 확대 △솔리드 캐니스터, 대용량 기화기 등 신규 제품 출시 △글로벌 시장 확대를 추진한다.